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    5.0N氯化氢气体

        高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻,钝化和外延等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究领域。在众多领域中的作用越来越重要。今天小编要为您介绍一下制作高纯氯化氢的流程。

        20世纪70年代以前电子工业用高纯氯化氢的制备一直是将浓硫酸家加到浓盐酸中,将其中的水分吸收掉。是过饱和的氯化氢气体析出。20世纪80年代以后制备方法发展到用浓硫酸与烘干的氯化钾反应,生成高纯氯化氢气体,用压缩机压入钢瓶中。即曼海姆法硫酸钾联产氯化氢气体。此种方法的氯化氢气体纯度在99.9%(质量分数)以上。

        其国内工艺流程为:以氯化钾与98%浓硫酸为原料,按2:1(摩尔比)的比例加入到曼海姆炉中,通过干气的燃烧间接加热使炉内物料在500~600的℃高温下,经耙齿不断搅拌混合使其反应充分,生成的硫酸钾经出料口进入密闭的冷却器,少量的游离硫酸用石灰中和后,经粉碎、冷却、筛分、包装即成成品,反应中产生的氯化氢气体被风机引至吸收工序。氯化氢气体经过空气冷却器和冷却洗涤塔,在洗涤塔用循环水间接冷却及浓盐酸洗涤后,使其降温并除去杂质,净化后的氯化氢气体在降膜吸收塔被来自解吸工序的21%稀盐酸吸收为35%的浓盐酸,其中一部分浓盐酸做洗涤用,其余被送至解吸工序进行解吸。由吸收工序送来的35%浓盐酸经流量计控制进入解析塔顶部,与再沸器来的120℃的氯化氢气液混合物进行热量和质量交换,将浓盐酸中的氯化氢气体脱析出来,直至塔底及及再沸器处达到恒沸物的平衡状态为止。脱吸出来的氯化氢由解吸塔顶部进入冷凝器、冷却器,除去大部分水后,进入浓盐酸分离器,进一步除去酸雾后,得到高纯的氯化氢气体,解析塔底的21%稀盐酸一部分进入再沸器参与解吸作用,其余部分经冷却器降温后送回吸收工序作为吸收液去吸收氯化氢气体

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